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混气系统
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产品简介:小型两通道供气系统CGM-2F是一种紧凑型双通道微量气体混合供气系统,输入的两种不同气体通过调节压力和流量,即可输出一种较准确的混合性气体,可用以小型管式炉、手套箱、等离子清洗机、小型PECVD系统
产品简介:精密液体气相发生器是针对实验室CVD实验中导入液体的系统,其液体流量是通过数字液体泵来控制,流量为80ml/min,精确度为0.005ml
产品简介:混气系统4路质子GSL-4Z是用于控制一种到四种的气体流经真空密封的管式炉
产品简介:混气系统3路质子GSL-3Z是用于控制一种到三种的气体流经真空密封的管式炉
产品简介:混气系统2路质子GSL-2Z是用于控制一种或两种的气体流经真空密封的管式炉
产品简介:多路质量流量供气系统是用于控制一种到多种的气体流经真空密封的管式炉
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