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产品简介: 多路浮子控制供气系统 GSL-3F 适用于控制一种到三种气体的通入, 管式炉可以置于其上, 可 用于 CVD 系统及退火炉,可用来研究气体环境对材料的影响。
产品型号 | 多路浮子控制供气系统 GSL-3F |
主要特点 | 1、适用于低压小流量,多种气体的单一或混合连续供气。 |
2、尤其方便多种气体切换使用,而不造成大气进入加热管。 3、每条气体管路均有一个高压截止阀,有效确保安全。 4、气体压力和流量数据在同一平面直观可读,实用、简便。 5、流量显示准确,可有效控制气体的消耗量。 6、所有仪表及阀门均采用活接头连接,便于维修和拆卸。 | |
技术参数 | 1、气路通道:三通道(可根据需要设计通道) 2、气路流量控制器:浮子流量计 3、标准量程: 10ml/min-100ml/min ,16ml/min-160ml/min ,25ml/min-250ml/min 4、接口: Ø6.35mm |
5、截止阀: Ø6.35mm 6、不锈钢管: 外径 Ø6mm×内径 Ø4mm 7、混气罐: Ø80mm×140mm |
8、压力真空表: -0.1MPa-0.15MPa ,0.01MPa/grid | |
9、工作环境: 5℃-45℃,高纯气体 |