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混气系统3路质子GSL-3Z

描述：产品简介：混气系统3路质子GSL-3Z是用于控制一种到三种的气体流经真空密封的管式炉

厂商性质
经销商
更新时间
2024-03-07
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详细介绍

产品简介：混气系统 3 路质子 GSL-3Z 是用于控制一种到三种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架内，管式炉可以放在移动架上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀，可以用于 CVD 系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响，在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用，广泛应用于电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、 CVD、等离子溅射以及镀膜设备、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器。

产品型号

混气系统 3 路质子 GSL-3Z

主要特点

精度高，运行稳定可靠，工作压力范围宽，可在高压或真空条件下工作，且操作使用方便。

技术参数

1、电源： 185-245V 50Hz

2、输出功率： 18W

3 、控制范围：控制器 1——0-100SCCM 、控制器 2——1-199SCCM 、控制器

3——1-499SCCM

5、准确度：± 1%FS

6、线性：±0.5-1.5%

7、重复精度：±0.2%FS

8、响应时间：气特性 1-4s ，电特性 10s 针阀： 316 不锈钢

	9、工作压差范围： 0.1-0.5 MPa
	10、压力表测量范围： -0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid）
	11、混气罐： Ø80mm×120mm 12、截止阀： Ø1/4″ ，316 不锈钢针阀
	13、工作温度： 5-45℃
产品规格	尺寸： 600mm×600mm×650mm