1200℃单温区开启式真空管式炉OTF-1200X

产品型号

1200℃单温区开启式真空管式炉OTF-1200X

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下，温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3 、气：如作为CVD 系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 100kg 以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体，配有循环风冷系统，壳体温度<60℃。

2 、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高加热效率，同时延长使用寿命。

3 、采用 PID 控制器，可以设置 30 段升降温程序。

4、设有超温及断偶报警功能。

5 、已通过 CE 认证。

技术参数

1 、电源： AC 220V    50Hz/60Hz    2.5KW

2、石英管： 外径 Ø50mm ，内径 Ø44mm ，长 1000mm

外径 Ø60mm ，内径 Ø54mm ，长 1000mm

外径 Ø80mm ，内径 Ø74mm ，长 1000mm

            外径 Ø100mm ，内径 Ø94mm ，长 1000mm

3、加热元件： 掺钼铁铬铝合金电阻丝，表面涂有氧化锆

4、加热区域： 440mm

5、恒温区域： 150mm

6 、工作温度：  1200℃（必须通入惰性气体以防止炉管发生形变） ，连续工作 1100℃

7、升降温速率： 20℃/min

8、控温精度：± 1℃

9、真空度： 10-2torr （机械泵）， 10-5torr  （分子泵）

10、泄漏率： <5mtorr/min

产品规格

尺寸： 590mm×380mm×520mm；重量： 40kg

标准配件

1

石英管

1 根

2

不锈钢真空法兰

1 套

可选配件

1、铰链式法兰

2、数字真空计

3 、PC 控制软件