1200℃开启式管式炉OTF-1200X-5L

产品型号

1200℃开启式管式炉 OTF-1200X-5L

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、电： AC220V ;50Hz，必须有良好接地

3 、气： 如作为 CVD 系统使用，需自备气源 （标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 100kg 以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体，配有循环风冷系统，壳体表面温度<55℃。

2、炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料。

3 、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高反射率和洁净度，同时延长使用寿命。

4 、采用 PID 控制器， 可以设置 30 段升降温程序。

5 、已通过 CE 认证。

技术参数

1 、电源： AC 220V    50Hz/60Hz    6KW

2、石英管： 外径 Ø125mm ，内径 Ø120mm ，长 1400mm（可选 Ø80mm 、Ø100mm）

  3、加热元件： 掺钼铁铬铝合金电阻丝，表面涂有氧化锆

  4、加热区域： 880mm

  5、恒温区域： 440mm

  6 、工作温度：  1200℃（<1h）， 连续工作 1100℃

  7、升降温速率： 20℃/min

  8、控温精度：± 1℃

  9、真空度： 10-2torr （机械泵）， 10-5torr  （分子泵）

  10、漏气率： <5mtorr/min

产品规格

尺寸： 1100mm×450mm×670mm；重量： 80kg

标准配件

1

石英管

1 根

2

氧化铝管堵

4 个

3

不锈钢法兰

2 个

4

高温手套

1 双

可选 配件

1、铰链式法兰

2、石英管堵

3 、KF25 转接头

4、卡套接头

5、滑轨法兰

6、移动炉架