1200℃开启式双温区管式炉OTF-1200X-II

产品型号

1200℃开启式双温区管式炉 OTF-1200X-II

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地

3 、气： 如作为 CVD 系统使用，需自备气源 （标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 200kg 以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体，配有循环风冷系统，壳体温度<60℃。

2 、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高加热效率，同时延长使用寿命。

3、设有超温及断偶报警功能。

4 、采用 PID 控制器， 可以设置 30 段升降温程序。

5 、已通过 CE 认证。

技术参数

1 、电源： AC 220V    50Hz/60Hz    4KW

2、石英管： 外径 Ø50mm ，内径 Ø44mm ，长 1000mm

外径 Ø60mm ，内径 Ø54mm ，长 1000mm

外径 Ø80mm ，内径 Ø74mm ，长 1000mm

外径 Ø100mm ，内径 Ø94mm ，长 1000mm

3、加热元件： 掺钼铁铬铝合金电阻丝，表面涂有氧化锆

4、温区： 2 个

5、加热区域： 400mm（200mm+200mm）

6 、工作温度：  1200℃ ，连续工作 1100℃

7、升降温速率： 20℃/min

8、控温精度：± 1℃

9、真空度： 10-2torr （机械泵）， 10-5torr  （分子泵）

产品规格

尺寸： 1000mm×380mm×520mm

标准配件

1

石英管

1 根

2

不锈钢真空法兰

1 套

可选配件

1 、叠型法兰

2、铰链式法兰

3、数字真空计

4 、PC 控制软件