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薄膜厚度测量系统TF200

描述：产品简介：TF200薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理，对薄膜进行厚度测量及分析

厂商性质
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更新时间
2024-03-07
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详细介绍

产品简介：TF200 薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理，对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面，探头同位接收反射光线。TF200 薄膜厚度测量系统根据反射回来的干涉光，用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围 1nm-3mm，可同时完成多层膜厚的测试。对于 100nm 以上的薄膜，还可以测量n 和k 值。

产品名称	TF200 薄膜厚度测量系统
产品型号	TF200-VIS	TF200-EXR	TF200-DUV	TF200-XNIR
主要特点	快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高
应用领域	半导体（SiO2/SiNx、光刻胶、 MEMS ，SOI 等） LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺 ITO 等) LED (SiO2 、光刻胶 ITO 等）触摸屏(ITO AR Coating 反射/穿透率测试等) 汽车(防雾层、 Hard Coating DLC 等）

	医学（聚对二甲苯涂层球囊/壁厚药膜等）
波长范围	380-1050nm	380-1700nm	190-1100nm	900-1700nm
厚度范围	50nm-40um	50nm-300um	1nm-30um	10um-3mm
准确度（取决于材料0.4%或 2nm 之间取较大者）	2nm	2nm	1nm	10nm
精度	0.2nm	0.2nm	0.2nm	3nm
入射角	90°	90°	90°	90°
样品材料	透明或半透明	透明或半透明	透明或半透明	透明或半透明
测量模式	反射/透射	反射/透射	反射/透射	反射/透射
光斑尺寸（可选微光斑附件。）	2mm	2mm	2mm	2mm
是否能在线	是	是	是	是
扫描选择	XY 可选	XY 可选	XY 可选	XY 可选