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EQ-TM106膜厚监测仪

描述：产品简介：EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理，结合的频率测量技术，进行膜厚的在线监测

厂商性质
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更新时间
2024-03-07
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详细介绍

产品简介： EQ-TM106 膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理，结合的频率测量技术，进行膜厚的在线监测。主要应用于 MBE 、OLED 热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中，用于对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。 EQ-TM106 膜厚监测仪根据制备薄膜的实时速率可以输出 PWM （脉冲宽度调制）模拟量，作为膜厚传感器使用，与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制，从而检测所制备薄膜的厚度。 EQ-TM106 膜厚监测仪体积小巧可节省实验室空间，原理简单，操作方便，尤其适合于实验室中薄膜制备过程的使用。

产品名称	EQ-TM106 膜厚监测仪
产品型号	EQ-TM106
主要特点	1 、本机可与计算机连接。 2、显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点，可直观显示所测的膜厚、速率、频率、 PWM 控制输出的百分比等工作状态。 3、通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置，并可将所测相关数据写入 Excel 文件。 4、具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。
技术参数	EQ-TM106-1 监测组件 1、电源： DC 5V（±10%），电流 400mA 2、频率分辨率： ±0.03Hz 3、膜厚分辨率： 0.0136Å （铝）

4、膜厚准确度： ±0.5%，取决于过程条件，特别是传感器的位置，材料应力，温度和密度

5、测量速度： 100ms-1s/次，可设置

6、测量范围： 500000Å （铝）

7、标准传感器晶体： 6MHz

8 、计算机接口： RS-232/485 串行接口（波特率 1200 、2400 、4800 、9600 、19200 、38400 可设置，数据位： 8，停止位： 1，校验：无）

9、模拟输出： 8 比特分辨率， PWM 脉宽调制输出（集电极开路或内部 5V 输出）

10、工作环境：温度 0-50℃，湿度 5%-85%RH，不得有冷凝水珠

11、外形尺寸： 90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2 显示仪

1、输入电源： AC 220V±10%

2、输出电源： DC 5V 3A

3、显示器： 12×2 数码管与 LED

4、通讯端口： RS-485（波特率 1200 、2400 、4800 、9600 、19200 、38400 可设置，数据位：

8 位，停止位： 1 位，奇偶校验：无）

5、外形尺寸： 182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3 探头

1、适用晶片频率： 6MHz

2、适用晶片尺寸： Ø14mm

3、安装法兰： CF35

4、冷却水管： Ø3mm ，长度 300mm 、500mm 、1000mm

5、冷却水压： <0.3MPa

6、气动挡板路管： Ø3mm

7、压缩空气压力： <0.8MPa ，>0.5MPa

	8、烘烤温度：通水状态<200℃，不通水状态法兰<100℃ 9、电气接口： BCN 插座
标准配件	1	EQ-TM106-1 监测组件	1 个
	2	EQ-TM106-2 显示仪	1 台
	3	EQ-TM106-3 探头	1 个