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产品简介： 椭偏在线监测装备针对 LCD、OLED等新型平板显示量光学薄膜质量控制需要，专门设计的在线薄膜测量系统。可适用于空气、N2、真空等环境条件，自动实现玻璃基板上各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的全片快速扫描测量。椭偏在线监测装备广泛应用于工业中新型光电器件行业所涉及的 PI 配向膜、光刻胶薄膜、ITO薄膜、有机发光薄膜、有机/ 无机封装薄膜大基片各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的在线式全片快速扫描测量。
| 产品型号 | PMS 椭偏在线监测装备 | |||
| 主要特点 | 1、支持产线大基片自定义多点扫描测量并输出报告
2、支持 193-2500nm 全波段分析测量
3、支持多椭偏方案，多组合集成
4、支持测头模块以及样件机台定制化 | |||
| 技术参数 | 测头规格 | 穆勒矩阵椭偏测 头 | 光谱椭偏测头 | 反射膜厚测头 |
| 自动化程度 | 可变/固定角+ | 可变/固定角+ | 垂直角+ | |
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| mapping | mapping | mapping |
| 应用定位 | 高阶高精度型 | 高精度型 | 通用型 | |
| 单次测量时间 | 0.5-5s | 小于 1s | ||
| 分析光谱 | 380-1000m(支持扩展至 193-2500nm) | 380-1100nm | ||
| Mapping 行程 | 支持行程定制化 | |||
| 支持样件尺寸 | 安需定制化 | |||
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