型号：

SE-L光谱椭偏仪03090804

描述：产品简介：SE-L光谱椭偏仪是一款全自动高精度光谱椭偏仪，集众多科技技术，采用行业前沿创新技术，配置全自动测量模块

厂商性质
经销商
更新时间
2024-03-07
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547

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详细介绍

产品简介： SE-L 光谱椭偏仪是一款全自动高精度光谱椭偏仪，集众多科技技术，采用行业前沿创新技术，配置全自动测量模块。通过椭偏参数、透射/反射率等参数的测量，快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析。SE-L 光谱椭偏仪广泛应用于半导体薄膜结构：介电薄膜、金属薄膜、高分子、光刻胶、硅、 PZT 膜，激光二极管 GaN 和AlGaN、透明的电子器件、平板显示、光伏太阳能、功能性涂料、生物和化学工程、块状材料分析等领域。

产品型号

SE-L 光谱椭偏仪

主要特点

1、高精度自动测量光学椭偏测量解决方案

2、全自动变角、调焦等控制平台，一键快速测量

3、软件交互式界面配合辅助向导式设计，易上手、操作便捷

4、丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力

5、采用氘灯和卤素灯复合光源，光谱覆盖紫外到近红外范围

(193-2500nm)

6、高精度旋转补偿器调制、 PCRSA 配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采

集

7、全自动椭偏测量技术，基于行业电机控制技术，全自动调整测量角

度，高精度控制样件台，实现样件快速自动对准找焦

8、颐光技术确保在宽光谱范围内，提供优质稳定的各波段光谱

9、数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料

技术参数

1、自动化程度：自动变角

2、应用定位：自动型

3、基本功能： Psi/Delta、N/C/S、R/T 等光谱

4、分析光谱： 380-1000nm(可扩至 193-2500nm)

5、单次测量时间： 0.5-5s

6、重复性测量精度： 0.01nm

7、光斑大小：大光斑 2-3mm,微光斑 200um

8、入射角调节方式：自动变角

9、入射角范围： 45-90°

10、找焦方式：自动找焦

11、Mapping 行程：支持 100x100mm(可选配)

12、支持样件尺寸：至 200mm

可选配置

波段选择

V:380-1000nm

UV:245-1000nm

XN:210-1650nm

DN+:193-2500nm

角度选择

自动:45-90°

其他选择

	Mapping 选择:100×100mm(供参考,按需定制) 温控台:室温一 600℃(供参考,按需定制)
可选配件	1	温控台
	2	Mapping 扩展模块
	3	真空泵
	4	透射吸附组件