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SE-VE 光谱椭偏仪
产品简介: SE-VE 是一款、快速测量光谱椭偏仪,紧凑集成设计,使用简便,可一键快速测量 表征各式光学薄膜膜厚以及光学常数等信息。高性价比光学椭偏测量解决方案,紧凑集成化设计,用 户操作体验,一键快速测量分析,人机交互设计,使用便捷,丰富的数据库和几何结构模型库,保证强大 数据分析能力,广泛应用于科研/企业中各种单层到多层薄膜膜厚以及光学常数等快速表征分析。
产品型号 | SE-VE 光谱椭偏仪 |
主要特点 | 1、采用高性能进口复合光源,光谱覆盖可见到近红外范围(400-800nm) 2、高精度旋转补偿器调制、 PCRSA 配置, 实现Psi/Delta光谱数据高速采集 |
3、数百种材料数据库、多种算法模型库,涵盖了目前绝大部分的光电材料 | |
技术参数 | 1、自动化程度:固定角 2、应用定位:经济型 3、基本功能: Psi/Delta、N/C/S、R 等光谱 |
4、分析光谱: 400-800nm | |
5、单次测量时间: 0.5-5s | |
6、重复性测量精度: 0.05nm 7、光斑大小: 大光斑 1-3mm 8、入射角调节方式:固定角 |
9、入射角范围: 65° | ||
10、找焦方式:手动找焦 11、Mapping 行程:不支持 12、支持样件尺寸: 至 160mm | ||
可选配件 | 1 | 温控台 |
2 | 真空泵 | |
3 | 透射吸附组件 |