GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪

产品名称

GSL-1700X-SPC-2 小型程序控温蒸发镀膜仪

产品型号

GSL-1700X-SPC-2

主要特点

1 、已通过 CE 认证。

2、采用石英腔体，易于清洁和样品的放入。

3、样品台可旋转，能够使所制薄膜达到更好的均匀性。

4、采用钨丝作为发热源，温度可达到 1700℃，并配有专用的氧化铝舟装载样品（仅 1600ºC 以 下使用， 若蒸发温度大于 1600ºC，样品应直接放在钨丝篮中）。

5、热电偶安装在坩埚底部，以便于温度测量和控制。

6、可将设备转换到手动调节状态， 内部不安装热电偶， 直接采用手动调节输出电流大小， 发

热源温度可达 2000ºC，可达到对样品镀碳等实验要求。

7 、可向真空腔体中通入惰性气体，对腔体进行清洗，也可通入反应气体，进行反应蒸发镀膜。

8、进气口配有针阀，用于调节进气流量。

技术参数

1、电压： AC 208V-220V 50Hz/60Hz  单相

2 、Max 功率： 500W ，Max 大电流为 30A

3、真空腔体：石英腔体，直径 Ø6"

4、样品台： 直径 Ø50mm；可旋转， 转速5rpm；与蒸发源间距可调， 调节范围 60mm-100mm

5 、Max 温度： 1700ºC

6、热电偶： S 型热偶， 工作温度 200ºC-1500ºC（可选用 B 型热偶， 工作温度 1200ºC-1700ºC）

7、控温精度：± 1ºC，数显温度控制器， 可设置 30 段升降温程序

8、钨丝篮： 2 个

9、真空接口： KF40

10、真空计： 数显防腐真空计 PCG554 ，测量范围 3.8×10-5-1125torr

11、进气接口： 1/4NPS

产品规格

尺寸： 440mm×330mm×630mm

可选配件

1、机械泵（带油污过滤器）（真空度<10-2torr，可以蒸发贵金属， 如 Au 、Ag）

2、分子泵（可获得高真空，真空度<10-5torr，蒸发易氧化材料， 如 Al 、Mg 、Li 等）

3、低真空系统

4、高真空系统

5、等离子清洗机（镀膜前对基片进行清洗，可获得更好的薄膜强度）