型号：

VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪

描述：产品简介：VTC-16-3HD3靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪（直流普通型），控制面板采用触摸屏模式，基片极限尺寸为2″，放置样品的直径为Ø50mm，加热温度达500℃

厂商性质
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更新时间
2024-03-07
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详细介绍

产品简介： VTC-16-3HD 3 靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪（直流普通型），控制面板采用触摸屏模式，基片极限尺寸为 2″ ，放置样品的直径为 Ø50mm ，加热温度达 500℃。 VTC-16-3HD 3 靶等离子溅射仪可溅射金、银、铜三种靶材，不可以溅射轻金属和碳。本机采用旋转式样品台，能够依次在同一样品上涂覆三层薄膜，适用于实验室制备复膜的样品。 VTC-16-3HD 3 靶等离子溅射仪采用 PLC 控制面板对设备进行控制，操作方便直观。该机设备小巧，占用实验室空间少，操作简单，应用广泛。因此被广泛应用于各大高校及科研院所的实验室中。

产品名称	VTC-16-3HD 3 靶等离子溅射仪
产品型号	VTC-16-3HD 3
安装条件	本设备要求在海拔 1000m 以下，温度 25℃±15℃，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：不需要 2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度 99.99%以上）清洗，需自备氩气气瓶 4、工作台：尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上 5、通风装置：需要
主要特点	1 、PLC 控制面板， 4.3″触摸屏， PID 控温方式。 2、可控参数包括真空度、电流、靶材位置、基片加热温度。
	3、可与真空泵、不锈钢波纹管 KFD25 快速卸装卡箍连用。 4 、已通过 CE 认证。

技术参数	1、输入功率： 110V/220V 通用 2000W （含真空泵） 2、输出功率： 1600VDC 50mA（max 电流）
	3、石英罩： Ø160mm×120mm 4、样品台： Ø50mm （可选购加热型样品台，极限温度可到500℃；极限溅射时间不可超过5min） 5、真空泵： 120L/M 旋片式真空泵 6、进气口：装有精密可调针阀，以实现方便的调节进气量 7、靶材：尺寸直径 Ø47mm ，厚度 0.5mm-3mm；可溅射 Au 、Ag 、Pt 、Cr 、Ni，不可溅射氧化物、半导体、一些轻金属、 Al 、Zn 、C 等
产品规格	尺寸： 360mm ×350mm×3600mm；重量： 50kg
可选配件	1 、KF25 真空接口、卡箍 2、不锈钢波纹管（600mm） 3、旋片式真空泵（ 120L/M） 4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材 5、加热型样品台