OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜（CSS）炉

产品名称

OTF-1200X-RTP-II 近距离蒸发镀膜（CSS）炉

产品型号

OTF-1200X-RTP-II

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：设备需选配自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电： AC220V 50Hz（20A 空气开关），必须有良好接地

3 、气： 设备腔室内需充注氩气（纯度 99.99%以上） ，需自备氩气气瓶（自带 Ø6mm 双卡套接

头）

4、工作台：设备为落地式， 占地面积 1m2 以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构上。

2 、紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片（Ø76mm×0.5mm），使得样品基片上的温度更加

均匀。

3 、3″的石墨坩埚可放于底部加热元件上，用于盛放蒸发料。

4 、真空法兰通过两个硅胶 O 型圈进行密封，通过机械泵其腔内真空度可达 10-2torr ，通过分子 泵真空度可达 10-5torr。

5、两个真空法兰都可以通过手动操作进行上下移动。

6、一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可以精 确测量腔内真空度。

技术参数

1 、电源： 单相 AC208V-240V （需 20A 的空气开关）

2、真空腔体：高纯石英管， 外径 280mm ，内径 275mm ，高 229mm

3、加热元件： 两组 IR 红外灯管， 额定功率 800W ，总功率 1600W

4、热电偶： S 型热电偶 2 个，分别安装于上下法兰上

5、工作温度：两个加热区域单独工作的极限温度≤650℃，两加热区域极限温差≤350℃

6、加热速率： >8℃/s

7、冷却速率： >10℃/s（600℃-100℃）

8、真空法兰： 316 不锈钢制作， 配有 1 个 KF-25 接口、 2 个 1/4″软管接头

9、真空计：数字式真空显示计

可选配件

1 、PC 控温软件

2、两路混气系统

3、多路浮子混气系统

4、多路质子混气系统

5、真空泵

6、水冷机