型号：

PCE-6小型等离子清洗机2

描述：产品简介：PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为Ø160mm×190mm的石英腔体，采用的射频电源功率3.0MHz（1%），输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调

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更新时间
2024-03-12
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详细介绍

产品简介： PCE-6 小型等离子清洗机的等离子腔体为 Ø160mm×190mm 的石英腔体，采用的射频电源功率 3.0MHz（ 1%），输出功率 7.2W 、10.2W 、29.6W 三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

产品型号	PCE-6 小型等离子清洗机
主要特点	1、通过控制面板的按键及开关，可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。
	2 、时间、功率、真空度等信息显示在一组 4 位数码管上。 3 、设有一个三通阀，可精确控制进气流量，以及大气流清洗腔体，进气接口为 6mm 卡套接口。 4、选用大功率射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。
技术参数	1 、电源： AC220V 50/60Hz 2、输出功率： 7.2W 、10.2W 、29.6W 3、真空泵功率： <500W

4、总功率： <600W

5、射频频率： 3.0MHz ，功率 3 档可手动调节

6 、等离子腔体：高纯石英腔体， Ø160mm×190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰上设有 Ø45mm 的观察窗

7、真空泵： 240L/min，直连式双旋真空泵

8、极限真空度： 50mtorr

9 、通入气体：可通入多种气体来产生等离子，如 N2 、Ar 、H2 、O2 、Air 和混合气体等（根据材料性质选定）

清洗及蚀刻

产品规格	尺寸： 400mm×300mm×300mm，重量： 10.2kg
可选配件	1 、2"-6"石英舟（盛放基片）
	2 、2-4 通道质子或浮子混气系统