2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC

产品型号

2000℃温度可控型 30KW 感应加热炉 SP-85KTC

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电： AC380V 50Hz（63A 空气开关），必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度 99.99%以上） ，需自备氩气气瓶（自带 6mm 双卡套接头）

4、工作台： 尺寸 1500mm×600mm×700mm ，承重 200kg 以上

5、通风装置：需要

主要特点

1 、采用多块氧化铝制作的耐火材料，用于支撑石墨坩埚，并防止热量辐射。

2、设有自动水压、过热、功率过高保护系统。

3 、温控器采用 PID 方式控温， 可设置 30 段升降温程序，设有过热和断偶保护功能。

4、配有防腐型真空计， 当气压在 10mbar 以上时，不需因测量气体种类的不同进行系数转换， 量程可到 3.8×10E-5torr。

5 、迷你型浮子流量计精度为 4%。

6、配有双级旋片机械泵（2L/s）， 可使石英管内真空度达到 10E-2torr。

技术参数

感应加热器

1、工作电压： 三相 AC 380V 50Hz（需 60A 空气开关）

2、工作电流： 7Amps-70Amps（需 100A 空气开关）

3、功率： 振荡功率 30KW ，输入功率 15KW

4、输出频率： 30KHz-110KHz

5、占空比： 80%

6、感应线圈： 内径 Ø220 mm ，高 65 mm

7、空气冷却：后风扇

温度控制器及热电偶

1、工作电压： AC208V-240V    单相

2、控温精度：±3℃

3、热电偶： C 型， 外径 Ø1/4" ，长 10"

4、连续工作温度范围： 1000℃-2000℃

5、升温速率： 4℃/s（ 1000℃-1200℃） 、3℃/s（ 1200℃-1500℃） 、1℃/s-2℃/s（ 1500℃-2000 ℃）

石墨坩埚（易耗件）

1、高纯石墨坩埚： 外径 Ø114mm ，内径 Ø100mm ，高 142mm

2、容量： 样品所占容积应为石墨坩埚容积的 1/2 ，质量为 4kg  （以铁标定）

3、保温层：石墨坩埚外环绕三层隔热材料， 从内至外分别为石墨毡（可耐温 2200℃） -氧化 铝（可耐温 1700℃） -高温毡， 总厚度为 32mm

石英管和密封法兰

1、石英管：两端开口， 外径 Ø216mm ，内径 Ø208mm ，长 500mm

2、顶部法兰：采用不锈钢折叠式法兰， 装有防腐型真空计、不锈钢截止阀， 设有 1 个 1/4"的 铠装接口（可插入热电偶至石英管内部，更准确地测量样品温度）

3、底部法兰： 设有 KF25 接口，可通过波纹管与真空泵相连接

水冷机

1、温度： 5℃-30℃

2、水流速： >16L/min

3、水箱容积： 12L，采用不锈钢制作

4、水压：≥0.1MPa

5、流量：≥5L/min

建议使用特定的冷却剂液以达到的冷却效果）

真空泵

工作电压： AC208V-240V 单相

移动炉架

尺寸： 700mm×1000mm×700mm，钢框架结构，方便移动感应加热器和带法兰的石英管

产品规格

注意事项

其他事项

本机可改为 RTP  （快速热处理炉） 和混合物物理化学气相沉积（HPCVD）系统。请参看下图。