1200℃双温立式炉OTF-1200X-4-VT-II

产品型号

1200℃双温立式炉 OTF-1200X-4-VT-II

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下，温度 25℃±15℃ ，湿度55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3 、气：如作为 CVD 系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重100kg 以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体结构，带有风冷系统，壳体表面温度<60℃。

2、开启式炉体更方便于炉管的更换。

3、采用高纯氧化铝作为炉膛材料，其表面涂有美国进口 1750℃氧化铝涂层， 可以提高加热效 率，同时延长使用寿命。

4 、采用 PID 方式进行温度调节，可设置30 段升降温程序。

5、炉管两端装有不锈钢密封法兰、真空计、阀门。

6、上端密封法兰内部焊有不锈钢勾，用于悬挂样品。

7、国家，并已通过 CE 认证。

技术参数

1 、电源： AC 208V-240V    50Hz/60Hz

2、功率： 3KW

3、石英管：外径 Ø100mm ，内径 Ø95mm ，长 1000mm

4、加热元件： 掺钼铁铬铝合金电阻丝，表面涂有氧化锆，可延长期使用寿命

5、加热区域：总长 400mm ，温区 I 为 200mm ，温区 II 为 200mm （两个温区可设置同样的温 度）

6、恒温区域：300mm

7、工作温度：每个温区 1200℃（<1h），连续工作 1100℃

8、加热速率：≤20℃/min

9、控温精度：± 1℃

10、热电偶：K 型热电偶进行测温

11、真空度：10-2torr （机械泵），10-5torr  （分子泵）

12、漏气率：<5mtorr/min

产品规格

尺寸：不含移动架 550mm×380mm×520mm ，含移动架 600mm×600mm×1200mm

重量：80kg （不含移动架）

可选配件

1、铰链式法兰

2、防腐型数字式真空显示计

3 、KF25 转接头（可增加抽气速率，获得较高的真空）

4 、VCR 双卡套接头（可工作在惰性气体或还原气体条件下）

5、高温丝（掺钼铁铬铝，可达 1100℃）

注意事项

1 、炉管内的正压不可高于0.02Mpa。

2、由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。建议在本司选购减压阀。本司减压阀量程为 0.01Mpa-0.1Mpa，使用时会更加精确安全。

3、当炉体温度高于 1000℃时， 炉管内不可处于真空状态， 炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。

4 、进入炉管的气体流量需小于 200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。

5、石英管的长时间使用温度<1100℃。

6、对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对 样品加热， 则需时刻关注压力表的示数， 若气压表示数大于 0.02MPa，必须立刻打开泄气 阀，以防意外发生（如炉管破裂、法兰飞出等）。

质量认证

1 、CE 认证。

2、所有电器元件（>24V）都通过 UL 、MET 、CSA 认证。

3、若用户承担认证费用， 本司保证单台设备通过德国 TIV 认证或 CAS 认证。

样品淬火