大口径管式真空气氛炉GSL-1100X

产品型号

大口径管式真空气氛炉 GSL-1100X

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、电： AC380V 50Hz，必须有良好接地

3 、气： 如作为 CVD 系统使用，需自备气源 （标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 300kg 以上

5、通风装置：需要

主要特点

1 、石英管外径为 6″ 、8″ 、8.5″ 、11″

2 、采用 PID 控制器， 可以设置 51 段控温程序。

3、控温精度高，保温效果好，温度范围大，炉膛温度均匀性高，可通气氛抽真空。

4、安全可靠，操作简单。

技术参数

1 、电源： AC 380V    50Hz/60Hz    5KW

2、石英管： Ø152mm×1000mm，Ø203mm×1000mm，Ø216mm×1000mm，Ø280mm×1000mm

3、加热元件：掺钼铁铬铝

4、加热区域： 900mm

5、温区： 3 个， 各 300mm 长

6、恒温区域： 550mm

7 、温度： 1100℃

8、工作温度： 1000℃

9、升温速率： 20℃/min

10、推荐升温速率： 10℃/min

11、控温精度：± 1℃

12、控温段数： 51 段

产品规格

尺寸： 1300mm×650mm×1050mm；重量： 150kg

标准配件

1

石英管

1 根

2

管堵

4 个

3

坩埚钳

1 把

4

热电偶

1 根

5

真空法兰

1 套

6

高温手套

1 双

可选配件

1、石英管

2、氧化铝坩埚

3、石英坩埚

4、真空泵