1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统OTF-1200X-4-C4LV

产品型号

1200℃双管滑动式四通道混气 CVD 系统 OTF-1200X-4-C4LV

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源

4、工作台： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、采用高纯氧化铝保温材料，保证了的温度均匀性。

2 、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高反射率和保护炉膛洁净度。

3 、采用 PID 控制器 ，可以设置 30 段升降温程序。

4、金属箔缠绕在内管的外表面上发生 CVD 反应。

5、采用双管真空密封法兰，允许反应气体通过两管之间（ 10mm 间隙）。

6、冷却气体直接通入内管。

7 、配有带 KF25 快接和波纹管的高速机械泵。

8、炉底部装有滑轨，炉体可从一端滑向另一端， 从而实现快速升温和降温。为了获得较快的 加热速度， 可以先将炉体预热， 然后滑至放置样品处； 为了获得较快的冷却速度， 可将炉 体滑至另一端，同时将冷气通入样品所在处。

9、密封法兰系统采用不锈钢制作。

10 、已通过 CE 认证。

技术参数

管式炉

1 、电源： 单相 AC 208V-240V    50Hz/60Hz    2.5KW （20A 保险丝）

2、石英管： 外管外径 Ø100mm ，内径 Ø96mm ，长 1400mm

内管外径 Ø80mm ，内径 Ø75mm ，长 1400mm

3、加热元件： 掺钼铁铬铝合金电阻丝（表面涂有氧化锆）

4、加热区域： 440mm

5、恒温区域： 120mm （± 1℃在 400℃-1100℃）

6 、工作温度：  1100℃ ，连续工作 1000℃

7、升降温速率： 20℃/min

8、控温精度：± 1℃

9、真空度： 10-3torr （机械泵）， 10-5torr  （分子泵）

质量流量混气系统

1、质子流量计： 4 路精密质子流量计，数字显示，气体流量自动控制

MFC1 范围 0-100sccm，MFC2 范围 0-200sccm，MFC3 范围 0-200sccm，MFC1 范围 0-500sccm

2、流量精度： 0.2%

3、气路： 4 路（每个气路都有一个独立的不锈钢针阀控制）

4、进出气口： 1/4"卡套

5、混气罐： 1 个

产品规格

尺寸： 管式炉 550mm×380mm×520mm ，移动架 600mm×600mm×597mm

重量： 135kg

可选配件

1、分子泵

2、双温区管式炉

3、铜箔（生长石墨烯 150mm×150mm×25µm）