1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV

产品型号

1700℃两通道混气高真空 CVD 系统 GSL-1700X-4-C2HV

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源

4、工作台： 尺寸 1600mm（L）*600mm(W)*700mm(H),承重 150kg 以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体，配有风冷系统，壳体温度<55℃。

2、采用高纯氧化铝纤维，有效减少热量损失。

3 、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高加热效率和使用寿命。

4 、采用 PID 控制器 ，可以设置 30 段升降温程序。

5 、已通过 CE 认证。

技术参数

管式炉

1 、电源： 单相 AC 208V-240V    50Hz/60Hz    6KW

2、炉管：高纯氧化铝陶瓷管， 外径 Ø100mm ，内径 Ø92mm ，长 1000mm

3、加热元件： 1800℃硅钼棒 8 根

4、加热区域： 457mm

5、恒温区域： 150mm

6 、工作温度：  1650℃ ，连续工作 1600℃

7、升温速率：≤5℃/min

8、控温精度：± 1℃

9、热电偶： B 型

10、不锈钢真空法兰： 1 对

11、机械压力表： 1 个

12、针阀： 2 个

13、连接器： KF-25 ，1 个

14、抽气接口： KF-25 转 KF-40

15、卡套接头： 1/4″

高真空机组

1、电源： 单相 AC208V-240V    50Hz/60Hz    100W-110W

2、真空泵： 德国 Pfeiffer 真空泵

3、显示屏： LCD 数字显示

4、抽气速率： N2-33L/s ，He-39L/s ，H2-32L/s

5、工作范围： 1000mtorr-10-7mtorr

6、极限： 10-8mtorr  （无泄漏）

质量流量混气系统

1、电源： 单相 AC208V-240V    50Hz/60Hz    18W

2、功率： 18W

3、混气箱： Ø80mm×120mm

产品规格

尺寸： 管式炉 550mm×380mm×520mm ，高真空机组 600mm×600mm×700mm，质量流量混

气系统 600mm×600mm×700mm