带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200X-5-III-F3LV

产品型号

带滑动法兰三温区 CVD 系统 OTF-1200X-5-III-F3LV

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源

4、工作台： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体，配有冷系统， 炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料。

2 、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高反射率和保护炉膛洁净度。

3、一端法兰配有滑轨，便于样品装卸；另一端法兰装有数字真空计。

4 、采用三个独立 PID 控制器 ，可以设置 30 段升降温程序，设有过热和断偶保护功能。

5 、已通过 CE 认证。

技术参数

1 、电源： 单相 AC 208V-240V    50Hz/60Hz    7KW （40A 保险丝）

2、石英管： 外径 Ø125mm ，内径 120mm ，长 1400mm，带有一对真空密封法兰

3、加热元件： 掺钼铁铬铝合金电阻丝

4、加热区域： 温区 I 长 229mm ，温区 II 长 457mm ，温区 III 长 229mm ，总长 915mm

5、恒温区域： 三个温区为同一温度时为 625mm ，温区 II 为 110mm

6 、工作温度：  1200℃ ，连续工作 1100℃

7、升降温速率： 20℃/min

8、控温精度：± 1℃

9、热电偶： K 型

10、浮子流量计： 3 个， 量程 0-100ml/min 、0-160ml/min 、0-250ml/min

11、数字真空计： 10-4torr

产品规格

尺寸： 管式炉 1080mm×430mm×600mm；重量： 70kg