高真空CVD系统OTF-1200X-80-C2HV

产品型号

高真空 CVD 系统 OTF-1200X-80-C2HV

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源

4、工作台： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体，配有风冷系统，壳体温度<60℃。

2 、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高反射率和保护炉膛洁净度。

3 、采用 PID 控制器， 可以设置 30 段升降温程序。

4 、质量流量系统采用 316 不锈钢制作而成。

5 、已通过 CE 认证。

技术参数

管式炉

1 、电源： AC 220V    50Hz/60Hz

2、石英管： 外径 Ø80mm ，内径 Ø75mm ，长 1000mm

3、加热元件： 掺钼铁铬铝合金电阻丝（表面涂有氧化锆）

4、加热区域： 440mm

5、恒温区域： 150mm

6 、工作温度：  1200℃ ，连续工作 1100℃

7、升降温速率： 20℃/min

8、控温精度：± 1℃

9、热电偶： K 型

高真空机组

1、壳体： 600mm×600mm×700mm ，承重 275kg

2、真空泵： 德国 Pfeiffer 真空泵

3、显示屏： LCD 数字显示

4、抽气速率： N2-33L/s ，He-39L/s ，H2-32L/s

5、工作范围： 1000mtorr-10-7mtorr

6、极限： 10-8mtorr  （无泄漏）

质量流量混气系统

1、电源： 单相 AC208V-240V    50Hz/60Hz

2、功率： 18W

3、尺寸： 600mm×600mm×700mm

4、混气箱： Ø80mm×120mm