高真空快速CVD系统OTF-1200X-4-RTP-C3HV

产品型号

高真空快速 CVD 系统 OTF-1200X-4-RTP-C3HV

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源

4、工作台： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上

5、通风装置：需要

主要特点

1 、双层 Al2O3 纤维钢构，无需水冷或风冷。

2、内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层，可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。

3 、PID 控制器， 可以设置 30 段升降温程序，并设有过热保护和断偶功能。

4 、已通过 CE 认证。

技术参数

1 、电源： 单相 208V-240V AC    50Hz/60Hz    10KW

2、石英管： 外径 Ø110mm ，内径 Ø103mm ，长 380mm

3、加热元件： 8 根红外灯管， 灯丝长 200mm ，丝圈 Ø10mm ，灯长 300mm

4、加热区： 300mm

5 、工作温度： 温度 1100℃

6 、控温精度：±0.5℃

7、升温速度： RT-800℃时为 50℃/s ，800℃-1000℃时为 10℃/s

8、温控仪：可控硅（ SCR）PID 自动控制

9 、真空法兰： 不锈钢，带有水冷接口和针阀，双层高温 O 型圈密封，长时间在>900℃条件下 运行必须采用水冷， 循环水流量为 0.5m3/hr

10、真空度： 10-2torr （机械泵）， 10-5torr  （分子泵）

11 、质量流量计： 3 个， MFC1 范围0-100sccm ，MFC2 范围0-200sccm ，MFC3 范围0-500sccm， 精度 1±%FS

12、混气罐： Ø80mm×120mm

产品规格

尺寸： 炉体 760mm×330mm×530mm ，真空混气系统 600mm×600mm×597mm

重量： 炉体 45kg ，真空混气系统 75kg