高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

产品型号

高真空三温区 CVD 系统 OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源

4、工作台： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、炉体采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面的温度<60℃。

2、保温材料采用高纯氧化铝纤维，减少热量损失，且内膛涂有高温氧化铝涂层，可提高加热 效率，延长使用寿命。

3、设有三个温区，可独立控温， 可设置 50 段升降温程序，并设有过热和断偶保护。

4、供气系统与真空机组置于移动架内，方便移动。

5、真空系统采用一键操作，按下“start" 键后隔膜泵和涡轮分子泵将会启动 （隔膜泵先启动，

待真空度达到 10-2mbar 后分子泵自动启动）。

6、根据腔体内的真空度，系统自动控制旋片泵的旋转速率。

7 、已通过 CE 认证。

技术参数

管式炉

1、电源： AC 208V-240V 单相  50Hz/60Hz    7KW

2、炉管：高纯石英管， 外径 Ø100mm×内径 Ø92mm×1400mm

3、加热元件： 掺钼铁铬铝合金电阻丝，表面涂有氧化锆

4、加热区：  温区 I 长 220mm ，温区 II 长 440mm ，温度 III 长 220mm ，总长 880mm

5、恒温区： 500mm  （三个温区设为同一温度时）

6、工作温度：  1200℃， 连续工作 1100℃

7、升温速率：≤20℃/min

8、控温精度：± 1℃

9、热电偶： 3 根 K 型热电偶

高真空机组

1、输入电源： AC110V 或 AC220V 可切换  50Hz/60Hz

2、消耗功率： 110W

3、壳体尺寸： 600mm×600mm×700mm

4、承重量： 270kg

5、抽气速率： N2-33L/s ，He-39L/s ，H2-32L/s

6、工作范围： 1000mbar-<10-7mbar

7、极限真空度： 10-5torr

8、数字式真空显示计： 10-8mbar-103mbar

质量流量混气系统

1、质量流量计： 9 通道精密质量流量计

2、流量计范围： 10sccm-1000sccm 三个， 20sccm-200sccm 三个， 30sccm-10sccm 三个

3、压力表： 3 个，用来检测混合气体压力

产品规格

尺寸： 炉体 550mm×380mm×520mm ，高真空机组 600mm×600mm×700mm，质量流量混

气系统 600mm×600mm×700mm

重量： 100kg

真空配件

1

不锈钢真空密封法兰

2 个

2

精密针阀

2 个

3

1/4″软管接头

1 个

4

高温硅胶 O 型密封圈（可承受 300 ℃）

6 个

5

氧化铝管堵

1 套

6

KF-40 真空波纹管

1 根

7

KF-40 快速卡箍

3 个

8

KF-25 卡箍

2 个

可选配件

防腐型数字式真空显示计