开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV

产品型号

开启式单温区低真空 CVD 系统 OTF-1200X-F3LV

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源

4、工作台： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体，配有循环风冷系统，壳体温度<60℃。

2 、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高加热效率，同时延长使用寿命。

3 、采用 PID 控制器 ，可以设置 30 段升降温程序。

4、设有超温及断偶报警功能。

5 、已通过 CE 认证。

技术参数

1 、电源： AC 220V    50Hz/60Hz    2.5KW

2、石英管： 外径 Ø80mm ，内径 Ø75mm ，长 1000mm

3、加热元件： 掺钼铁铬铝合金电阻丝

4、加热区域： 440mm

5、恒温区域： 150mm

6 、工作温度：  1200℃ ，连续工作 1100℃

7、升降温速率： 20℃/min

8、控温精度：± 1℃

9、真空度： 5.5×10-3torr （机械泵）， 10-4torr  （分子泵）

10、泄漏率： <5mtorr/min

11、浮子流量计： 3 个； 10ml/min-100ml/min ，16ml/min-160ml/min ，25ml/min-250ml/min

12、压力表： 4 个

产品规格

尺寸： 管式炉 550mm×380mm×520mm ，混气系统 600mm×600mm×597mm；重量： 60kg