生长纳米线CVD炉OTF-1200X-4-NW

产品型号

生长纳米线 CVD 炉 OTF-1200X-4-NW

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源

4、工作台： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上

5、通风装置：需要

主要特点

1 、由 OTF-1200X-4 单温区炉演变而来的紧凑型 CVD 炉。

2 、内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层，可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。

3 、带样品支架的右法兰是滑动的，方便样品的快速取放。

4 、左侧的小加热器可对输入 CVD 炉的气体、液体、固体或混合物进行预加热，不锈钢加热腔 外径 30mm 、长 150mm ，工作温度 600℃。

5 、左边法兰（在加热器与 CVD 炉之间） 装有 4 个 1/4″卡套连结的通气管，具有密封和气体通 道的作用。

6 、PID 自整定数字控制器 ，可以设置 30 段升降温程序。

7、选配相关软件可用计算机进行控温。

8 、已通过 CE 认证。

技术参数

1 、额定电压： 单相 AC 220V    50Hz/60Hz

2、额定功率： 3KW（需 20A 的空气开关）

3、石英管： 外管外径 Ø110mm ，内径 Ø102mm ，长 381mm

4、加热区域： CVD 炉 400mm ，加热器 150mm

5 、工作温度： CVD 炉 1100℃（<2h），连续工作 200℃-1000℃， 升降温速率 10℃ /min；

加热器连续工作 0-500℃， 升降温速率 10℃/min

6 、控温精度：±1℃

7、热电偶： K 型

8、右法兰：一个 3″石英样品支架， 与石英挡板、法兰连成一体， 设有 KF25 真空快接口， 以 及水冷接口（可选配水冷机， 避免 O 型圈融化）

9、左法兰： 有 2 个独立 1/4″口，可单独将任何气体通入炉内，一路 1/4″口将预热气体通入 CVD 炉，一路 1/4″口将不加热的气体通入炉内，并通过炉内的 T 型结构与加热气体汇合

产品规格

尺寸： 1200mm×450mm×510mm；重量： 100kg

可选配件

1、水冷机

2、控温软件